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IPH半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列

用途:

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特點(diǎn):


IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程。

它優(yōu)良的性能源自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì)。

漢鐘獨(dú)特型線設(shè)計(jì),上海,臺(tái)灣,制造。

較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式。

帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。

優(yōu)化的尺寸,即插即用。


規(guī)格型號(hào)
產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊(cè)

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產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊(cè)

產(chǎn)品外觀圖

名稱

發(fā)布時(shí)間

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