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IPH半導體嚴苛系列

用途： Etch 、Implant、HDP-CVD、SACVD、MOCVD、LPCVD、ALD

特點：

  1. iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴苛制程

  2. 它優(yōu)良的性能源自於最短的轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設計

  3. 漢鐘獨特型線設計，上海、臺灣製造

  4. 較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式

  5. 帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積

  6. 優(yōu)化的尺寸，隨插即用


規(guī)格型號

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產(chǎn)品樣本和技術手冊

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